Optik dizayn yarimo'tkazgich maydonida keng qamrovli dasturlarga ega. Fotolitografiya mashinasida optik tizim yorug'lik manbai tomonidan chiqariladigan nur nurini qaratib, uni silikon valosini fosh qilish uchun mo'ljallangan. Shuning uchun fotolitografiya tizimida optik komponentlarni loyihalash va optimallashtirish fotolitografiya mashinasining bajarilishini yaxshilashning muhim usulidir. Quyida fotolitografiya mashinalarida ishlatiladigan ba'zi optik komponentlar:
Proektsion maqsad
01 Proektsion Maqsad litzografiyotning asosiy optik tarkibiy qismidir, odatda konveks linzalari, konfavonlar linzalari va prizmalar, shu jumladan linzalardan iborat linzalar va prizmalar.
02 Uning vazifasi niqobdagi zinapiy shaklini qisqartirish va uni fotorezist bilan qoplash uchun.
03 Proatsiyaning maqsadining aniqligi va ishlashi litografiya mashinasining qaror va tasviriy sifatiga hal qiluvchi ta'sir ko'rsatadi
Oyna
01 Oynayorug'lik yo'nalishini o'zgartirish va uni to'g'ri joyga yo'naltirish uchun ishlatiladi.
02 Euv litografiya mashinalarida, ayniqsa Euv nuri materiallar bilan osongina so'riganligi sababli juda muhim, shuning uchun yuqori tafovutli nometalldan foydalanish kerak.
03 Orplektorning sirtning aniqligi va barqarorligi litografiya mashinasini bajarishga katta ta'sir ko'rsatadi.
Filtrlar
01 filtr fotolitografiya jarayonining aniqligi va aniqligini oshirishga imkon beradigan va sifatini oshirishga 01 filtr ishlatilgan.
02 Tegishli filtrni tanlash orqali, faqat ma'lum bir to'lqin uzunligi litografiya mashinasiga kirib, litografiya jarayonining aniqligi va barqarorligini oshirishi ta'minlanishi mumkin.
Prizmalar va boshqa tarkibiy qismlar
Bundan tashqari, litografiya mashinasi, masalan, prizmalar, pozitsiyalar va boshqalar kabi qo'shimcha litografiya talablariga javob beradigan boshqa yordamchi optik komponentlardan ham foydalanishlari mumkin. Ushbu optik tarkibiy qismlarni tanlash, loyihalash va ishlab chiqarish litografiya mashinasining aniqligi va samaradorligini ta'minlash uchun tegishli texnik standartlar va talablarga qat'iy rioya qilish kerak.
Xulosa qilib, litografiya mashinalari sohasidagi optik komponentlarni qo'llashda litografiyani ishlab chiqarish sohasini rivojlantirishni qo'llab-quvvatlovchi litografiya mashinalarining ishlashi va ishlab chiqarish samaradorligini oshirishga qaratilgan. Litografiya texnologiyalarining doimiy rivojlanishi bilan, optik tarkibiy qismlarning optimallashtirish va innovatsiyalari, shuningdek, keyingi avlod chiplarini ishlab chiqarish uchun katta imkoniyatlar yaratadi.
Qo'shimcha ma'lumot va ekspert maslahatlari uchun bizning veb-saytimizga tashrif buyuringhttps://www.jiuJonoptika.com/Mahsulotlarimiz va echimlarimiz haqida ko'proq ma'lumot olish.
Post vaqti: yanvar-02-2025
